国家知识产权局信息显示，上海高笙集成电路设备有限公司取得一项名为“一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置”的专利，授权公告号CN223595944U，申请日期为2024年12月半导体 。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置，其特征在于，包括主腔体和等离子发生器，所述主腔体内连接有多个用于引入氢气尾气的第一进气管，所述第一进气管的进口端周向布置且与主腔体的上部连通，所述主腔体的上部还连通有第三进气管，空气或氧气可经第三进气管进入主腔体内以助燃，所述主腔体的下部与水洗设备连通，所述主腔体外形成有风冷腔，所述风冷腔包括内腔和外腔，所述内腔环绕主腔体设置且向下开口，所述外腔设于内腔外且通过若干周向布置的第一通孔与内腔连通，所述外腔与第二进气管连通半导体 。本实用新型结构合理、降温效果好且降温均匀。
天眼查资料显示，上海高笙集成电路设备有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业半导体 。企业注册资本1700万人民币。通过天眼查大数据分析，上海高笙集成电路设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息124条，此外企业还拥有行政许可5个。
声明：市场有风险，投资需谨慎半导体 。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯